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      北京晨鑫設備技術有限公司

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      1200度三溫區4通道可調真空CVD管式爐

      1200度三溫區4通道可調真空CVD管式爐

      1200度三溫區4通道可調真空CVD管式爐
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      CVD系統由供氣系統+管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度、1400度、1600度、1700度,加熱區間可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

       

      這款CVD系統是由4路供氣系統+TL1200-1200-1200三溫區管式爐+可調真空系統組成 

       

      這款管式爐以電阻絲(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、升降溫度速率快、節能等優點,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品.。

       軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。

       

       開蓋保護系統:該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。

       

           密封系統:該爐頂蓋和爐門(其他地方已經焊接好)均采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。

       

             真空系統:  可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進口分子泵。

       

            爐膛材料:采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。

       

            加熱元件:  采用世界上一流電阻絲  瑞典Canthal A1 電阻絲  使用使用長,溫場均衡。      

       

             漏電保護功能:該爐裝了漏電空氣開關,當爐體漏電時自動斷電,以確保使用的安全性。

       

              供氣系統:該爐配有質子流量計,客戶可通過浮子流量計或質子流量計控制氣體的流速(詳細請查看選件)。

       

             法蘭:采用雙環密封技術,有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有多種接頭,可接電阻真空計、KF25波紋管并能做成容易撤卸的鉸鏈式。 

       

               可調真空:通過調節真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節真空泵電機的轉速來實現雙管管式爐內真空度在10-10000Pa之間某一范圍內恒定。

       

              開蓋: 該爐上蓋的支撐采用了汽車升降桿,支撐好,用力輕。

       

             可控真空系統:該爐真空系統真空泵采用無極變速器,可以把爐管內真空度控制在1-10000Pa之間的某一值上,這一特性特別適合于石墨烯的生長。

       

            

      詳細技術參數

       

       

       

       

      型號

      TL1200-1200-1200-I

      TL1200-1200-1200-II

      TL1200-1200-1200-III

      功率

      4.5 KW

      4.5KW

      4.5KW

      爐管尺寸

      Dia 60(OD) X1300 mm

      Dia80(OD)X1300

      Dia100(OD)X1300

      電源電壓

      220V

       

      相數

      單相

      加熱元件

      電阻絲

      控制方式(3組FP93島電表)

      40段程序控溫(日本島電),可以分成4、2、1組程序,如果分成4組程序,每條程序為10段,

      FP93 6組PID控制,低、中、高溫度段都能控制得很準確。

      具有過溫保護 斷偶保護過溫或斷偶時電爐加熱電路自動切斷,(當電爐溫度超過1200度或熱電偶燒斷時,主電路上的交流繼電器會自動斷開,主電路斷開,面板上ON燈熄滅,OFF燈亮,有限的保護電爐)。 。

      儀表有華氏度(F)和攝氏度(C)可供選擇

      帶有485 通訊接口

      具有自動停機功能

      可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

       

      爐膛材料

      氧化鋁多晶體纖維

      (氧化鋁含量95%以上)日本進口

      控制精度

      +/- 1 ℃

      觸發器

      移相觸發

      電器

      浙江正泰

      可控硅

      106/16E 德國西門康

      第一、二、三溫區最高溫度

      1200 ℃

      第一、二、三溫區額定溫度

      1100 ℃

      升溫速率

      ≤30 ℃/ Min (可根據要求修改)

      推薦升溫速率

      ≤15 ℃/ Min

      熱電偶型號

      K型

      第一溫區加熱段長度

      205mm

      第二溫區加熱段長度

       

      205mm

       
      第三溫區加熱段長度 205mm
      第一溫區恒溫段長度 80mm
      第二溫區恒溫段長度 80mm
      第三溫區恒溫段長度 80mm

      真空度

      用機械泵抽時能夠達到0.1MPa                                         用分子泵抽能夠達到10-3Pa

       

                    TW-1.5A                             VRD-8                      CDK280分組泵機組

       

      1、一般粗略抽真空、把爐管里面的氣體趕出來用:TW-1.5A即可

      2、VRD-8能夠把管式爐爐管的真空度抽到0.1Pa(需要用波紋管)

      3、CDK分子泵機組能夠把管式爐爐管的真空度抽到10-3Pa

      真空法蘭

                                                              

              鉸鏈式法蘭                   可以接電阻真空計和KF25波紋管的法蘭              普通式法蘭 

       

                                                             (該爐標配這種)

       

      可調真空度 管式爐內真空可以在10-10000Pa之間某一范圍內恒定

      電阻真空計(美國進口)(選購)(接口為KF16)

      認證

      四周表面溫度

      ≤45℃

      安全保護系統  

      爐體上帶有空氣開關和保險絲 ,當電流超過空開的額定電流時,空開會自動跳開,有效的保護電爐。  

       

      開蓋保護系統 該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時繼電器會自動切斷主電源,有效地保證使用者的安全 

       

       

      標準配件

       

       

       

       

       

      描敘

       

       

      數量

       

       

      圖片

      TL1200-1200 雙溫區管式爐

      1 臺

      石英管60mm OD x 1300mm L

      1根

      不銹鋼法蘭

      1 套

      不銹鋼爐鉤

      1 根

      氧化鋁爐塞

      2 對

      高溫手套

      1 付

      氧化鋁坩堝

      5個

      K型熱電偶 3個

      保險

      1 個

      COM轉USB接口

      1 套

      說明書

      1 份

       

       

      軟件

      1份

       

       

       

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