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      北京晨鑫設備技術有限公司

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      1200度單溫區4通道可調真空CVD雙管爐

      1200度單溫區4通道可調真空CVD雙管爐

      1200度單溫區4通道可調真空CVD雙管爐
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           CVD系統 由供氣系統+雙管管式爐+抽氣系統 ,最高溫度可以達到1200度,可以是單溫區、雙溫區、三溫區等,極限真空可以達到10-3Pa,供氣系統是流量調節可以是質子流量計或浮子流量計,混氣路數可以是2路、3路、4路、5路相混合。

       

      這款CVD系統是由3路供氣系統+TL1200雙管管式爐+低真空系統組成 

       

        滑動式雙管爐是一種特殊的CVD系統,是專門為在金屬箔(像銅箔、鋁箔等)上生長薄膜而設計,廣泛應用在新一代能源關于柔性金屬箔電極方面的研究上,特別適用于碳納米管、碳納米線、石墨烯的生長。這款雙管式爐以電阻絲(Canthal)為加熱元件,采用雙層殼體結構和日本島電控溫儀表,能進行40段程序控溫,移相觸發、可控硅控制,爐膛采用日本進口氧化鋁多晶纖維材料,具有溫場均衡、表面溫度低、節能等優點。

       

          雙管管式爐爐底安裝一對滑軌,可用手推滑動。加熱和冷卻速率最大可達100°C/min。為取得最快加熱,可以預先加熱爐子到設定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得最快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環境下可以達到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。

       

         軟件控制系統:該爐配有通訊接口和軟件,可以直接通過電腦控制爐子的各個參數,并能從電腦上觀察到爐子上PV和SV溫度值和儀表的運行情況,爐子的實際升溫曲線電腦會實時繪出,并能把每個時刻的溫度數據保存起來,隨時可以調出。

       

       開蓋保護系統:該爐安裝有行程開關,當爐蓋打開時會自動切斷電源,有效地保證使用者的安全。

       

           密封系統:該爐頂蓋和爐門(其他地方已經焊接好)均采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復撤卸,氣密性好、可保證12小時壓力表指針不偏轉。

       

             真空系統:  可配TW-1.5A真空泵和能夠抽到10-1Pa真空泵或能夠抽到10-4Pa德國進口分子泵。

       

            爐膛材料:采用日本進口爐膛材料,不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡,抗熱漲冷縮能力強。

       

            加熱元件:  采用世界上一流電阻絲  瑞典Canthal A1 電阻絲  使用使用長,溫場均衡。      

       

             漏電保護功能:該爐裝了漏電空氣開關,當爐體漏電時自動斷電,以確保使用的安全性。

       

              供氣系統:該爐配有浮子流量計,客戶可通過浮子流量計或質子流量計控制氣體的流速(詳細請查看選件)。

       

             法蘭:該法蘭為雙管法蘭,采用雙環密封技術,有效的提高了法蘭的氣氛性,法蘭上裝有KF25接口,詳細請看技術參數里圖片

       

            可調真空:通過調節真空擋板閥閥門開關和用微電腦調節真空泵電機的轉速來實現雙管管式爐內真空度在10-10000Pa之間某一范圍內恒定。

           

      TL1200 單溫區4通道可調真空CVD雙管爐詳細技術參數

       

       

      TL1400管式爐技術參數

      型號

             TL1200-L-C-I

                     TL1200-L-C-II

      功率

                    2.5KW

                     2.5KW

      爐管尺寸(外管)

        Dia 80(ID73) X1460 mm    

           Dia100(ID93)X1460

              爐管尺寸(外管)   Dia60(53)X1510mm     Dia80(ID73)X1510
              爐子外形尺寸   1500X490X600

      電源電壓

      220V

      相數

      單相

       

      加熱元件

      瑞典 Kanthal 電阻絲

       

      控制方式

      40段程序控溫(日本島電),可以分成4、2、1組程序,如果分成4組程序,每條程序為10段,

      FP93 6組PID控制,低、中、高溫度段都能控制得很準確。

      具有過溫保護斷偶保護   過溫(當溫度超過1200)或斷偶時電爐加熱主電路會自動切斷。

      儀表有華氏度(F)和攝氏度(C)可供選擇

      帶有485 通訊接口

      具有自動停機功能

      可以儲存多組程序、使用時可以任意調出。

       

      爐膛材料

      氧化鋁多晶體纖維

      (氧化鋁含量95%以上)日本進口

       

      控制精度

      +/- 1 ℃

      觸發器

      移相觸發(帶軟啟動和限流功能)

      電器

      浙江正泰

      可控硅

      106/16E 德國西門康

      最高溫度

      1200 ℃

      額定溫度

      1100 ℃

      升溫速率

      ≤20 ℃/ Min (可根據要求修改)

      推薦升溫速率

      ≤10 ℃/ Min

                  冷態極限真空度    用分子泵抽真空時能夠達到10-3                    用機械泵抽真空時能夠達到0.1Pa       
                   可調真空度  管式爐內真空可以在10-10000Pa之間某一范圍內恒定

      熱電偶型號

      K 型

      加熱段長度

      400mm

      雙管法蘭

         

                                                     

      認證

      四周表面溫度

      ≤45℃

        安全保護系統

      爐體上帶有空氣開關和保險絲 ,當電流超過空開的額定電流時,空開會自動跳開,有效的保護電爐。  

       

      供氣系統

      二路浮子流量計

      (可選)

       

      二路質子流量計

      (可選 

       

      三路質子流量計

      (可選)

      四路質子流量計

      (該系統配這套  

       

      五路質子流量計

      (可選)

      真空系統

       

      VS-0.1低真空系統

      (可選)

       


       

       

      VS-高真空系統

       

           (可選)

      真空度檢測系統

      進口電阻真空計

       

       

       

      國產電阻真空計

       

       

      雙管管式爐標準配件

       

       

       

       

       

       

      描述

       

       

      數量

       

       

      圖片

      TL1200雙管 管式爐

      1 臺

       

      石英管 Dia80X1500

      1 根

       

       

       

      石英管 Dia60X1500    1根

      不銹鋼雙管法蘭

      1 對

      不銹鋼爐鉤

      1根

      氧化鋁爐塞

      3對

      高溫手套

      1 雙

      氧化鋁坩堝

      5 個

      保險

      1個

      COM轉USB接口

      1 付

      說明書

      1 份

       

       

      軟件

      1 份

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

       

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